AeroTrak 9303
(0.3 um / 핸디형)
반도체나 제약, 바이오 등의 첨단 생산공정을 갖추고 있는 산업분야는 미세 먼지에도 쉽게 오염되어 품질 이상이 발생합니다. 이에 따라, 이런 제품 생산을 위해서는 미세 먼지가 절대 침투하지 못하게 클린룸(Clean Room)이라는 청정 공간을 필요로 합니다.
클린룸을 위한 필수장비로서 Particle Counter는 먼지 한개도 허용하지 않는 청정공간을 만들기 위해 클린룸 내부 환경은 물론, IAQ, HVAC, 생산 장비 내부, ULPA, HEPA 필터, Gas, UPW 등 모든 오염제어를 위한 첫번째 감시 단계로서 반드시 사용되어야 합니다.
상세정보
측정 입자범위 | 0.3 ~ 25.0 um |
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측정 Size | 0.3, 5.0 um 고정, 0.5, 1.0, 2.0, 2.5 um 선택하여 3 channel 표현 |
농도 한계 | 3,400,000 particles/ft3 (120,000,000/m3) @ 10% coincidence loss |
계수 효율 | 50% at 0.50 µm; 100% for particles >0.75 µm (per ISO 21501-4 and JIS) |
광원 | Long Life Laser Diode |
영점 변동 | <1 count per 5 minutes (per ISO 21501-4 and JIS) |
샘플 유량 | 0.1 cfm (2.83 L/min) ±5% accuracy (meets ISO 21501-4 and JIS B9921) |
메모리 | 1500 개 |
교정 주기 | 1년 |
측정 Mode | 수동, 자동 Mode |
측정 시간 | 1초 ~ 99시간 중 선택 |
측정 횟수 | 1 ~ 999회 중 선택 또는 무한 연속 측정 |
샘플 흡입 | 내장 Pump 사용 |
통신 | USB Serial Output |
Display | 3.2″ Mono LCD |
전원 | 110 ~ 220 VAC, 50/60Hz |
배터리 | > 4.5 시간 사용 |
크기 | 23.0 cm x 11.2 cm x 6.4 cm |
무게 | 0.58 kg |
Option | 온습도/풍속 프로브, Filter Scanning Probe, 추가 Battery, Carrying Case |