AeroTrak 9001
(10 nm / 0.1 cfm)

반도체 공정이 14nm 이하 극미세 공정으로 발전해 가는 현실에서도, Particle Counter 측정 사이즈는 0.1um 가 최소 단위입니다. 0.1um는 Nano로 환산하면 100nm 입니다. 14nm 이하 제품을 개발하는 환경에서 100nm는 큰 바위와 같은 사이즈라고 할 수 있겠습니다.

이러한 기술적인 제약을 극복하고자 TSI에서 10nm 측정 용 신규 제품을 출시하였습니다. 기존 CPC (Condensation Particle Counter) 원리를 사용하여 대기용이 아닌 클린룸 Nano Particle 측정용으로 개발하였습니다.

기존 대기 연구용 CPC는 Nano size particle 을 측정 하지만, 클린룸 용이 아니기 때문에 Zero Count Level이 좋을 필요가 없고, 샘플 유량도 1 LPM 이면 충분합니다. 하지만 클린룸에서는 완벽한 Zero count level 이 필수이며 또한 흡입유량도 높아야 클린룸 측정 규격에 맞출 수 있습니다.

TSI AeroTrak 9001은 10 nm CPC 이지만 <0.07 ea/cf Zero Count Level 을 구현하였습니다, 또한 샘플유량도 2.83 LPM으로 높습니다. 온라인 측정을 위해서 Water Level Sensor가 장착된 Bottle에 UPW를 직접 연결할 수 있도록 설계되어 매번 작업자가 Water를 fill 해야하는 불편함도 없습니다.

Nano Particle 오염을 관리해야 하는 반도체 제조라인, 공정설비, 부품, 배관, 밸브, Gas Nano Particle 측정 등에 맞춤형으로 개발된 제품입니다.

클린룸 Air, Gas (N2, CDA, Ar, CO2 등) 10nm Particle 측정 가능합니다. Nano Particle 오염 제어가 필요하신 분들의 많은 관심 바라겠습니다.