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(10 nm STPC)

현존하는 UPW Particle Counter는 20 nm 가 한계입니다, 이 또한 Detection Efficiency가 2% 내외에 불과하여 측정 효율이 매우 낮아 신뢰성 확보에 한계가 있습니다. 2%에 불과한 측정효율과 20 nm Standard PSL의 높은 오차율을 감안하면 그 데이터로 결과값을 신뢰할 수 없음을 분명히 알 수 있습니다.

Kanomax FMT의 10 nm Particle Counter는 CPC 원리를 이용하여 초정밀 Nebulizer를 통과한 UPW의 Particle을 50% efficiency로 측정합니다. 10 nm, 20 nm, 30 nm 3가지 측정 사이즈를 선택할 수 있고 사이즈 변경도 가능합니다. 반도체 공정이 20 nm 에서 10 nm 공정으로 초미세화 하는 시점에서 UPW 의 초미세 Particle 불량을 분석하고 모니터링 할 수 있습니다.

10 nm STPC 는 Compact하면서 조작하기 쉬우며, 부탄올 1 Liter정도면 약 한달 동안 동작합니다. 데이터는 Serial 통신으로 모니터링 소프트웨어와 연결 할 수 있어 24시간 On Line 모니터링이 가능합니다.